扫描电子显微镜

JSM-6360LA钨灯丝扫描电镜，是日本电子株式会社在2002年推出的新型号数字化扫描电镜。 是在近几年销售名列前茅深受好评的JSM-5610LV的基础上，将电子光学系统进行技术革新，并保留了JSM-5610LV良好的操作界面和出色稳定的控制系统，堪称世界上最先进的扫描电子显微镜。主要特点为全数字化控制系统，高分辨率、高精度的变焦聚光镜系统、全对中样品台及高灵敏度半导体背散射探头；用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。该型号在很多大学、研究院所及制造业被广泛使用。
　

技术参数：
1、装置型号: JSM-6360LA，带低真空功能
2、EDS(JED2300): 装配JED
3、高真空模式分辨率: 3.0nm@30KV WD=8mm
4、低真空模式分辨率: 4.0nm@30KV WD=5mm
5、放大率: x5至x300000
6、低真空度: 1to270Pa，高、低真空切换
7、加速电压: 0.5kV至30kV，束流1pA—1uA。
8、试样台: 中心式,x:80mm,y:40,z:43mm,倾斜-10～+90度,旋转360度,最大试样
尺寸:152mm,试样容许:48mm。计算机控制5轴(任选件)。
9、PC/OS功能: IBMPC/AT互换型机、Windows2000XP,用户登录,菜单,自动聚焦,自动
非点补正,自动亮度对比,自动枪。
10、排气方式: 高真空+低真空排气方式。
11、真空系统: 马达驱动台能谱分析接口稳压电源循环水箱。
12、分辨率脉冲处理器:具有133eV等多数,只有分析时注入氮气,高性能x线数字处理器。
13、适用软件: 基于新概念的分析装置从上具有图像,分析结果文件,管理,定性
定量,高速。
14、特别附件: LV-SED低真空二次电子检测器,克来奥装置,试样制冷装置,试样加热
(拉伸)装置,Robinson检测器,Centuls检测器,EBIC,EBSP,WDS,CLD(阴
极发光)。


主要特点:
1、搭载了新型闪烁器二次电子检测器，因而提高了检测效率。同时由于对电子光学系统和
图像处理系统进行了改良，因而实现了更加清晰鲜明的图像。
2、由于采用了维护性与扩张性同时兼备的新型电子光学系统，所以能安置最多８种检测器
口和选择口。（ＥＤＳ、ＷＤＳ、ＥＢＳＰ、ＩＲ照像机、ＣＬＤ等）
3、高灵敏度半导体式反射电子检测器是不需拿出放入操作的类型，可获得构成图像、凹凸
图像和立体图像。
4、所有的信号[如∶ＳＥＩ、ＢＥＩ、Ｘ射线（ＥＤＳ／ＷＤＳ）]在工作距离10mm位置能被
检测出来。Ｘ射线的取出角度为３５度。
5、利用优先特种载物台能插入直径为１５０mm的大型试样。利用选项可安置５轴马达、优
先特种载物台，最大程度能插入直径为203.2mm，高度为８０mm的大型试样。
6、便于观察试样整个图像的最低倍数为Ｘ５。
7、由于能集成化的ＥＤＳ、ＥＤＳ检测器、ＳＥＭ都是本公司自己研制开发的产品，所以
进一步提高了统一显示画面、装置设置面积小型化等整体系统的功能。
8、由于ＤＴＰ功能是获得好评的微笑式影像。由于搭载了以最低倍率Ｘ５也不能观察的超
宽范围的ＳＥＭ图像及能进行Ｘ射线变换的新开发的分析站，所以添加了新型系列产品。
利用这些产品可选择最合适的分析ＳＥＭ。

主要用途：
扫描电镜（SEM）可应用于材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料、医药科学以及生物等领域。进行显微形貌分析；成分的常规微区分析：元素定量、定性成分分析，实时微区成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量；显微结构分析：空间分辨率亚微米级，晶界的状态测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶体、晶粒取向测量等。